Objeto de la consulta preliminar: La presente consulta es abierta y se dirige a todos los operadores económicos que posean interés en el eventual procedimiento que se siguiese, y tengan intención de colaborar con el órgano de contratación, facilitando información sobre el estado del mercado respecto de soluciones que satisfagan las necesidades planteadas, en base a las siguientes especificaciones, o equivalentes, debiendo especificar el cumplimiento de cada una de ellas o, en su caso, la alternativa propuesta: Cada tool debe de cumplir con las siguientes especificaciones técnicas: Todas las tools deberán ser compatibles con una sala blanca (cleanroom) Clase ISO 6 para obleas de 300 mm y estar equipadas con manipulación totalmente automatizada de obleas, incluyendo puertos de carga para Front- Opening Unified Pods (FOUPs), compatibles con sistemas de transporte aéreo (Overhead Transport Systems, OHT/AMHS), con el fin de permitir una operación sin intervención manual y de alta productividad (high-throughput). Cada tool de proceso deberá disponer de una interfaz mediante un Equipment Front End Module (EFEM) que proporcione alineación de obleas, identificación (p. ej., código de barras/RFID), almacenamiento intermedio (buffering) y transferencia robotizada hacia las cámaras de proceso bajo condiciones ambientales controladas. Todo el equipamiento deberá cumplir con los estándares SEMI (p. ej., E84, E87, E90) para garantizar una integración fluida con la automatización de fábrica y el Manufacturing Execution System (MES). El MES deberá orquestar la gestión de lotes (lot dispatching), la gestión de recetas (recipe management), la trazabilidad y la recopilación de datos en tiempo real, permitiendo una automatización completa, una alta utilización de los equipos y un estricto control de proceso en toda la fábrica (fab).